陈星淡淡一笑,摆了摆手道:“都是建设用款,这不需要谢的,对了,我光刻工厂电力系统……”
“电力没问题的了。”
夏扬抢先回答。
刚说完,他又补充道:“我们刚刚进行了电力系统升级,你离开的这一个月时间又接了数条电缆,稳定性肯定没问题。”
“辛苦夏局了。”
陈星眼神闪过抹感激。
有时候办事效率快,人脉是非常重要的,像夏扬和雷兵,他们目的其实和陈星一致,特别的雷兵,都是想建设好抛狗岭地区,让自己仕途更加平坦。
“哪里的话,都自家人。”
夏扬话音刚落,林天辨识度极高的青年音传来:“总裁你来了,工厂设备我已经仔细检查过了,随时可以进行生产作业。”
“好!”
陈星应答一声,看向两位局长道:“那两位要不随我进去观看?如果能够量产,龙国半导体行业格局将会被彻底改写。”
“求之不得。”
“这是我们的荣幸。”
几人连带赵思秋,全部来到了光刻工厂的控制室,面前是控制面板和监控画面。
上次初测已经目睹过,陈星和雷兵、夏扬并没有过于惊讶,只有赵思秋眼眸闪烁震惊,不敢想象这是龙国的工业杰作,全自动生产,这比西方还牛逼。
经过参数调试,排除外故障情况,林天侧目看向陈星道:“我要启动生产了。”
“可以。”
陈星点了点头。
随着一声令下,林天将面前五个开关全部打开,这对应了光刻工厂的五条生产线。
下一秒。
运输装置被激活。
只见它自动前往硅片存放区域,将半导体硅片运送到清洗区域,洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。
一般来说,清晰硅片需要用到sc1清洗液或硫酸清洗液,sc1清洗液是氨水、双氧水以及水的混合物,三者比例为1比2比5o,硫酸清洗液则是硫酸和双氧水的混合物,其浓度比为5:1。
在半导体硅片清洗完成后,它们会通过特殊运输通道,运往下一个步骤进行烘烤,将表面的水分蒸,以免影响到后面的光刻。
五条生产线同时启动,数个清洗台和烘干设备都在作业。
短暂等待过后,半导体硅片已经彻底干燥,磁吸运输设备将它们运往下一个步骤,涂抹光刻胶。
自动取片。
自动清洗。
自动涂胶。
自动光刻。
光刻工厂的自动化流水线,让赵思秋目瞪口呆,难以想象这居然是自己国家的流水线,西方也没有这么先进的吧?
其他人则比较淡定,因为上次已经见识过了。
当arF光刻正胶涂抹完成,它们将自动运输到光刻区域。
值得一提的是,光刻工厂有上百个光刻区域,这些光刻区域是可以挑选和建设的。
例如我需要13。5纳米波长的极紫外光,就可以在光刻工厂停止运行后,调整光刻位置和参数,就拥有了13。5纳米波长的光刻区域。
再比如说,我不需要13。5纳米波长的极紫外光,我需要7纳米的,同样可以把13。5纳米波长的光刻区域调整到7纳米光线区,就拥有7纳米的光刻区域。
灵活取光运用,也是光刻工厂的一个优势。